Triclorosilà

El triclorosilà (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78{-2) és un líquid incolor i altament volàtil amb una olor aguda i asfixiant de clorur d'hidrogen. Bullint a 31,8 graus i reaccionant violentament amb la humitat, és la matèria primera clau per al procés de Siemens per produir polisilici d'alta -puresa per a cèl·lules solars fotovoltaiques i hòsties de semiconductors. El TCS també s'utilitza àmpliament en el creixement d'hòsties epitaxials de silici, síntesi d'organosilici (olis de silicona, cautxús, resines, agents d'acoblament), deposició de pel·lícula fina de silici CVD i com a agent reductor selectiu en síntesi orgànica. Disponible en grau industrial (més o igual al 99,0%) i grau electrònic (fins a 9N de puresa). Classificat com a reactiu a l'aigua i altament inflamable (UN 1295, classe 4.3+2.3, PG I) amb un rang explosiu extremadament ampli de l'1,2% al 90,5%; manipular només en condicions estrictament anhidres amb protecció de nitrogen sec.